PENGARUH DOPING SBCL3 TERHADAP STRUKTUR DAN SIFAT OPTIK FILM TIPIS ZNO DENGAN METODE SOL-GEL SPIN COATING

Abstract

Penelitian ini dilakukan untuk menghasil bahan baku pembuatan film tipis ZnO yang didoping Antimon (III) Klorida (SbCl₃) sebagai bahan terbaik untuk didoping dengan ZnO. Film tipis ZnO doping SbCl₃ telah berhasil disintesis dengan metode sol-gel spin coating dan proses pencampuran dengan teknik refluks. Bahan yang digunakan  zinc acetat dehydrate {Zn(CH₃COO)₂ 2H₂O}, Antimoni (III) Klorida sebagai pendoping dilarutkan oleh pelarut isopropanol dengan variasi konsentrasi doping yaitu 4%; 5% dan 6% lalu distabilkan dengan diethanolamine (DEA). Pembuatan film tipis ZnO:SbCl₃ ini dilakukan diatas substrat kaca dengan metode spin coating. Hasil karakterisasi film tipis ZnO:SbCl_3­ dengan XRD menunjukkan ukuran kristal masing-masing adalah 26 nm, 26 nm, 24 nm. Dan hasil karakterisasi SEM menunjukkan permukaan morfologi film tipis ZnO:SbCl₃ adanya retakan pada saat pelapisan dan bulatan hitam pada konsentrasi 5%. Hasil karakterisasi UV-VIS memperlihatkan nilai transmitansi dengan semua doping pada cahaya yang diteruskan pada lapisan ZnO doping SbCl₃ lebih banyak daripada diserap pada rentang 350-800 nm. Dan nilai absorbansi menurun tajam pada rentang 350-800 nm. Nilai celah pita energi meningkat pada konsentrasi 5% dan menurun pada konsentrasi 6% dengan nilai E_g yaitu 3,03 eV.